製品概要
企業情報
テルモセラ・ジャパン株式会社
製品概要マルチ雰囲気ウエハーアニール装置です。最大2000℃まで対応し、真空、不活性ガス、還元雰囲気での使用が可能。ヒーター材質は、高純度グラファイト、SiC3（炭化珪素）コーティング、TiC3（チタン・カーバイド）コーティングの3種類から選ぶことができます。
テルモセラ・ジャパン株式会社
マルチ雰囲気ウエハーアニール装置です。最大2000℃まで対応し、真空、不活性ガス、還元雰囲気での使用が可能。ヒーター材質は、高純度グラファイト、SiC3（炭化珪素）コーティング、TiC3（チタン・カーバイド）コーティングの3種類から選ぶことができます。
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