製品概要
企業情報
ノベリオンシステムズ株式会社
製品概要製造・加工機械や半導体製造装置などに使用するミリング装置用のアンペア級イオン源です。耐熱性と低スパッタ率の電極材料を採用しており、低エネルギーアンペア級イオンビームを発生させることができます。荷電粒子軌道シミュレーションによるビーム均一性の最適化も行っており、お客様の要望に合わせたオーダーメイドも可能。
ノベリオンシステムズ株式会社
製造・加工機械や半導体製造装置などに使用するミリング装置用のアンペア級イオン源です。耐熱性と低スパッタ率の電極材料を採用しており、低エネルギーアンペア級イオンビームを発生させることができます。荷電粒子軌道シミュレーションによるビーム均一性の最適化も行っており、お客様の要望に合わせたオーダーメイドも可能。
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