製造・加工機械や半導体製造装置に最適な光学式外観検査装置です。この装置は、スルーホールやレーザービア（LVH）の検査において高い実績を持ち、ハイエンド基板向けに開発されました。特徴は、スルーホールやレーザービアをパターンと同時に全穴検査できる点、新開発の照明系により高精度な検査が可能な点、パッド・ラインごとに条件設定ができることで欠陥検出の精度が向上する点、フロントソフトウェアの短時間セットアップが可能な点です。