MiniLabシリーズは、テルモセラ・ジャパン株式会社が製造・加工機械、半導体製造装置、スパッタリング装置に特化して開発した実験装置です。豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じて組み立てが可能であり、研究用途に幅広く対応しています。カスタマイズ品でありながら、コンパクトな構成を実現し、Plug&Playで制御ユニットを搭載することができるため、様々な薄膜プロセス実験に応用が可能。MiniLabシリーズは、研究開発から小規模生産まで幅広く対応するハイコストパフォーマンスシステムです。