製品概要
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サンユー電子株式会社
製品概要マルチコンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」は、低真空領域で使用する小型の成膜装置です。マグネトロンカソードによるプラズマ放電を利用し、金属ターゲットをスパッタして薄膜を作製します。3種類のターゲットを同時に装着できるため、多層膜の作製が可能。さらに、オプション装置として膜厚センサーや試料加熱ユニットを追加することもできます。
サンユー電子株式会社
マルチコンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」は、低真空領域で使用する小型の成膜装置です。マグネトロンカソードによるプラズマ放電を利用し、金属ターゲットをスパッタして薄膜を作製します。3種類のターゲットを同時に装着できるため、多層膜の作製が可能。さらに、オプション装置として膜厚センサーや試料加熱ユニットを追加することもできます。
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