株式会社ソフエンジニアリングが提供する製造・加工機械は、半導体製造装置やフォトマスクに特化しています。その中でも、大型基板に対応する全自動フォトリソ処理装置はG8.5世代基板にも適応し、1.3m X 1.5m X 15mmまでの基板を処理することが可能。フォトリソプロセスの一貫処理も実現しており、LDから現像、エッチング、剥離、洗浄、ULDまでを一括して行うことができます。国内の複数メーカーでの実績もあります。