ファーストゲート株式会社は、製造・加工機械の中でも特に半導体製造装置に特化したCMP装置の開発・販売を行っています。その中でもプロセス性能保証可能なフル再生CMP装置は、高い性能と信頼性で知られており、最新のMEMSプロセスに最適なIPEC472のフル再生装置を提供。また、他のメーカーのCMP装置、ポスト洗浄装置、検査装置も幅広く取り扱っており、お客様のニーズに合わせた最適な製品を提供しています。