製品概要
企業情報
テルモセラ・ジャパン株式会社
製品概要MiniLab-090は、グローブボックス内で使用することができ、PVDとCVDのフレキシブル薄膜実験が可能です。最大8つの蒸着源と4つのマグネトロンスパッタリングカソードを搭載、最大8インチの加熱ステージを備えています。また、RF/DCエッチングシステムとCVD（熱CVD、PECVD）も搭載しており、均一な蒸着が可能です。大容積のチャンバーを採用しており、グローブボックス内での作業に最適。製品のカスタマイズも可能なので、詳細はお問い合わせください。
テルモセラ・ジャパン株式会社
MiniLab-090は、グローブボックス内で使用することができ、PVDとCVDのフレキシブル薄膜実験が可能です。最大8つの蒸着源と4つのマグネトロンスパッタリングカソードを搭載、最大8インチの加熱ステージを備えています。また、RF/DCエッチングシステムとCVD（熱CVD、PECVD）も搭載しており、均一な蒸着が可能です。大容積のチャンバーを採用しており、グローブボックス内での作業に最適。製品のカスタマイズも可能なので、詳細はお問い合わせください。
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