製造・加工機械、ステッパーの一つであるズースマイクロテック MA/BA GEN4は、最大8インチ角基板まで対応可能なセミオートアライメント対応の露光機です。MEMS、光学部品の製造、化合物半導体などのR&D、少量生産用途に最適な装備を備えています。精密なアライメントマーク観察光学系と画像処理機能によりバラツキの少ないアライメントが可能で、高品質な製品を生産することができます。
製造・加工機械、ステッパーの一つであるズースマイクロテック MA/BA GEN4は、最大8インチ角基板まで対応可能なセミオートアライメント対応の露光機です。MEMS、光学部品の製造、化合物半導体などのR&D、少量生産用途に最適な装備を備えています。精密なアライメントマーク観察光学系と画像処理機能によりバラツキの少ないアライメントが可能で、高品質な製品を生産することができます。
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