ステッパーの製品一覧
ウシオライティング株式会社の自動整合露光装置は、CCDカメラによる画像処理自動整合システムを搭載しており、製造・加工機械、半導体製造装置、ステッパーなどに利用できます。
製造・加工機械や半導体製造装置向けに、５相ステップモータドライバ「５Ｄ１４Ｃ」を提供しています。このモータドライバは５本線モータに対応し、従来比で高速性を３０％向上させるとともに、高効率かつ高信頼性の設計も実現しています。励磁タイミング出力も可能です。
製造・加工機械および半導体製造装置向けの２相マイクロステップモータドライバ「２Ｄ２４Ｍ」を開発しました。この製品は超小型・超軽量でありながら、高分割数の設定が可能です。また、２Ａ／相ＲＭＳの高出力も備えており、性能とコストのバランスに優れています。
取り付け方向が自由でシンプルな回路構成により、高い信頼性を実現しています。さらに、５本リードモータに対応しており、脱着式端子台を使用しているため、取り扱いも簡単。
砂型鋳造、金型鋳造、ダイカスト鋳造、石膏鋳造など、あらゆる鋳物品加工に対応し、各種材質や工法の鋳造品の製作実績があります。鋳造メーカーとの協業により、一貫した製作プロセスを提供。用途も広く、半導体露光装置や車載設備、医療用診断装置などに使用されています。
ウシオライティング株式会社の製品は、フレネルレンズを搭載した高精度露光装置です。新真空システムにより、スクリーン版枠の歪みを軽減し、配光バランスを向上させました。製造・加工機械や半導体製造装置において、高い性能を実現し、さまざまな業界で活躍しています。
ウシオライティング株式会社は、フレキシブルプリント基板（FPC）の回路形成を行うための製造・加工機械を提供しています。ロールｔｏロールでピッチ送りしてドライフィルム上にパターンを焼き付ける製品群をラインアップさせており、半導体製造装置におけるステッパーやFPC露光装置など、幅広い用途に対応。高い品質と柔軟な加工機能を実現し、お客様のニーズに応えます。
「PMB212C」は、製造・加工機械や半導体製造装置に適した小型ドライバです。1.2A/相の出力を持ち、最大2.4Aまでのユニポーラ型ステッピングモータを駆動できます。
兼松ＰＷＳ株式会社が提供するSUSS MicroTec 手動マスクアライナMJB4は、最大4インチ角基板まで対応可能な手動式露光装置です。シンプルな操作性、高精度なアライメント、高い露光解像性が特徴であり、研究開発用途だけでなく少量生産用途でも利用できます。
製造・加工機械、ステッパーの一つであるズースマイクロテック MA/BA GEN4は、最大８インチ角基板まで対応可能なセミオートアライメント対応の露光機です。MEMS、光学部品の製造、化合物半導体などのR&D、少量生産用途に最適な装備を備えています。精密なアライメントマーク観察光学系と画像処理機能によりバラツキの少ないアライメントが可能で、高品質な製品を生産することができます。
弊社は、製造・加工機械業界において、半導体製造装置の一部として平行光露光装置を提供している企業です。均一照射光源として使用され、精密パターン露光や半導体素子デバイスのパターン露光、ウェハ露光などの様々な用途に適しています。詳細はウェブサイトをご覧いただくかお問い合わせください。
５相ＡＣ電源マイクロステップモータドライバ「５Ｄ１ＡＭ」は高い性能を持ち、ステッパーによる正確な位置制御が可能で、製造・加工機械や半導体製造装置などに使用されています。さらに、安定した５相ＡＣ電源を供給することで、モータのトルクや回転数の変動を最小限に抑えることが可能です。詳細については、ウェブサイトまたはお問い合わせ先までお気軽にご連絡ください。
製造・加工機械の一種である半導体製造装置の中でもステッパーとして知られる製品です。ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社が製造・販売しており、マスクレスアライナー『MLA300』という名前で展開されています。この製品は、研究開発アプリケーションやラピッドプロトタイピング、さらには少量から中量生産において、マスクレスアライナーの標準として広く利用されてきました。MLA300は、高スループットと高可用性を実現しつつ、2 µmの高解像度を実現。また、自動化にも対応しており、ウェーハロボットやロードポート、特別に設計されたソフトウェアなどが搭載されています。製造工場において高性能なマスクレスアライナーを求める生産者に向けた製品です。
株式会社三栄精機工業は、独自のチャック方法を用いて高精度な薄板加工品を提供。最小幅2mmの薄板加工に対応し、加工サイズは最大700×700mmまで承ります。アルミ、鉄、SUS、インバー材などの材料に対応し、1000分台の平行精度を実現。製造・加工機械の設備も充実しており、横型MCや立形MC、5軸MCなどを備えています。お客様のサイズや加工による変形の要求にも柔軟に対応可能です。