製造・加工機械の一種である半導体製造装置の中でもステッパーとして知られる製品です。ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社が製造・販売しており、マスクレスアライナー『MLA300』という名前で展開されています。この製品は、研究開発アプリケーションやラピッドプロトタイピング、さらには少量から中量生産において、マスクレスアライナーの標準として広く利用されてきました。MLA300は、高スループットと高可用性を実現しつつ、2 µmの高解像度を実現。また、自動化にも対応しており、ウェーハロボットやロードポート、特別に設計されたソフトウェアなどが搭載されています。製造工場において高性能なマスクレスアライナーを求める生産者に向けた製品です。
製造・加工機械の一種である半導体製造装置の中でもステッパーとして知られる製品です。ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社が製造・販売しており、マスクレスアライナー『MLA300』という名前で展開されています。この製品は、研究開発アプリケーションやラピッドプロトタイピング、さらには少量から中量生産において、マスクレスアライナーの標準として広く利用されてきました。MLA300は、高スループットと高可用性を実現しつつ、2 µmの高解像度を実現。また、自動化にも対応しており、ウェーハロボットやロードポート、特別に設計されたソフトウェアなどが搭載されています。製造工場において高性能なマスクレスアライナーを求める生産者に向けた製品です。
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