「ELBS-150」は、ECR放電型ラインビームイオン源であり、独創的な磁路設計による均一な長尺イオンビームを提供しています。大型同軸導入端子による大電力マイクロ波駆動とメタルコンタミフリーの誘電体ライニングが特徴。磁気ヘッドのミリング加工や高周波回路のトリミング調整に使用することができます。詳細はPDF資料をご覧いただくか、お問い合わせください。
「ELBS-150」は、ECR放電型ラインビームイオン源であり、独創的な磁路設計による均一な長尺イオンビームを提供しています。大型同軸導入端子による大電力マイクロ波駆動とメタルコンタミフリーの誘電体ライニングが特徴。磁気ヘッドのミリング加工や高周波回路のトリミング調整に使用することができます。詳細はPDF資料をご覧いただくか、お問い合わせください。
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