製品概要
企業情報
株式会社ウェル
製品概要株式会社ウェルが開発したILP-Inlineシリーズは、独自のリアクターヘッドにより大面積エリアに高密度プラズマを発生する大気圧プラズマ装置です。この装置は、半導体ICパッド部クリーニングからFPC基板、液晶ガラス基板などの大型ワークの量産インラインシステム構築を容易にし、設備投資とランニングコストの低減を実現します。
株式会社ウェル
株式会社ウェルが開発したILP-Inlineシリーズは、独自のリアクターヘッドにより大面積エリアに高密度プラズマを発生する大気圧プラズマ装置です。この装置は、半導体ICパッド部クリーニングからFPC基板、液晶ガラス基板などの大型ワークの量産インラインシステム構築を容易にし、設備投資とランニングコストの低減を実現します。
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