製品概要
企業情報
マール・ジャパン株式会社
製品概要光学式3D表面粗さ・輪郭形状測機『MarSurf CP/CL・CM mobile』は、半導体・エレクトロニクス関連での採用が多い、非接触タイプの三次元表面形状測定機です。『CP』は高分解能で6nm(Z方向)・1μm(X方向)を実現し、『CL』は高速ラインセンサ搭載で0.02μm(Z方向)・1μm(X方向)を実現しています。さらに、『MarSurf CM mobile』はポータブル型で高精度な測定が可能で、持ち運びが容易です。ナノ単位の3Dデータを最短7秒で取得し、振動環境下や鏡面仕上げにも対応しています。
マール・ジャパン株式会社
光学式3D表面粗さ・輪郭形状測機『MarSurf CP/CL・CM mobile』は、半導体・エレクトロニクス関連での採用が多い、非接触タイプの三次元表面形状測定機です。『CP』は高分解能で6nm(Z方向)・1μm(X方向)を実現し、『CL』は高速ラインセンサ搭載で0.02μm(Z方向)・1μm(X方向)を実現しています。さらに、『MarSurf CM mobile』はポータブル型で高精度な測定が可能で、持ち運びが容易です。ナノ単位の3Dデータを最短7秒で取得し、振動環境下や鏡面仕上げにも対応しています。
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