太陽電池製造装置向けの複合材料MMCは、SiCセラミックスと金属シリコンを組み合わせることで、セラミックスを超える高熱伝導とシリコン並みの低熱膨張を実現しています。熱伝導率はSiCやAlNをも上回り、複合比率を変更することでさまざまな特性を実現可能。また、表面処理（めっき）も可能で、静電チャックにも使用することができます。さらに、セラミックスに比べて大型化も可能です。SiCとアルミの組み合わせもラインナップされています。