製品概要
企業情報
ナラサキ産業株式会社
製品概要卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』は、独自のスポットプラズマ技術により、局所加工が可能です。50W型でありながら、電波法による設置許可申請も不要で操作も簡単です。半導体故障解析用試料の前処理から、各種プラズマ加工に広く対応しています。コンパクトな卓上サイズでありながら、低残渣かつ高速加工を実現し、10μm/mimの加工精度を実現。さらに、低出力のRF電源を使用し、試料をステージで移動させた広範囲の加工も可能です。
ナラサキ産業株式会社
卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』は、独自のスポットプラズマ技術により、局所加工が可能です。50W型でありながら、電波法による設置許可申請も不要で操作も簡単です。半導体故障解析用試料の前処理から、各種プラズマ加工に広く対応しています。コンパクトな卓上サイズでありながら、低残渣かつ高速加工を実現し、10μm/mimの加工精度を実現。さらに、低出力のRF電源を使用し、試料をステージで移動させた広範囲の加工も可能です。
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