製品概要
企業情報
株式会社ウェル
製品概要独自のリアクターヘッドにより、大面積エリアに高密度プラズマを発生させます。この装置は半導体ICパッド部クリーニングからFPC基板、液晶ガラス基板などの大型ワークの量産インラインシステム構築を容易にし、設備投資とランニングコストの低減を実現。さらに、マニュアルステージを搭載した簡易プラズマユニット機にもビルドイン対応が可能です。
株式会社ウェル
独自のリアクターヘッドにより、大面積エリアに高密度プラズマを発生させます。この装置は半導体ICパッド部クリーニングからFPC基板、液晶ガラス基板などの大型ワークの量産インラインシステム構築を容易にし、設備投資とランニングコストの低減を実現。さらに、マニュアルステージを搭載した簡易プラズマユニット機にもビルドイン対応が可能です。
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