株式会社ウェルの大気圧プラズマ装置、MyPL-Autoシリーズは、独自のリアクターヘッドによって大面積エリアに高密度プラズマを発生させることが可能です。半導体ICパッドのクリーニングから大型ワーク(ガラス基板等)の量産インラインシステム構築に適しており、設備投資とランニングコストの低減を実現します。詳細はURLからお問い合わせください。
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