アライメントステージ ダイレクトドライブ形SA-DEは、直動案内部にリニアウェイL、回転案内部にクロスローラベアリングを使用し、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトなXYθ運動を実現する製品です。高分解能リニアエンコーダとフルクローズループ制御の組み合わせにより、バックラッシのない高精度な位置決めが可能であり、半導体・液晶関連製造装置や測定機器、検査装置などの位置決め機構として最適です。薄形・コンパクトなデザインでありながら、XYθの組み合わせやアライメントも簡単に構築できます。