伊藤忠マシンテクノスは、全ての裏面プロセスを全自動で欠陥検出可能な「ウェハ裏面(表面)専用自動欠陥検出装置」をはじめ、「ウェハ外観検査マクロミクロ装置」や「卓上ローダー・ソーター装置」など、多種多様な装置を取り揃えております。ウェハ欠陥検出内容に含まれるのは、バックグラインド工程による加工時の欠陥、ハンドリング時の欠陥、薄型ウェハや貼り合わせ工程の欠陥、ウェハ裏面メタル工程による欠陥です。