製品概要
企業情報
ナラサキ産業株式会社
製品概要半導体製造装置の耐プラズマ・耐腐食・石英部品の長寿命化やフェライト焼成用セッターの濡れ性向上など、さまざまな製品に対して厚膜コーティングを実現するPRIME法を開発しました。この技術により、セラミックスから石英や黒鉛に至るまで、様々な素材に対して形状自由度が高いコーティングが可能です。また、密着性や膜厚均一性、面粗度の大きさなども特徴として挙げられます。
ナラサキ産業株式会社
半導体製造装置の耐プラズマ・耐腐食・石英部品の長寿命化やフェライト焼成用セッターの濡れ性向上など、さまざまな製品に対して厚膜コーティングを実現するPRIME法を開発しました。この技術により、セラミックスから石英や黒鉛に至るまで、様々な素材に対して形状自由度が高いコーティングが可能です。また、密着性や膜厚均一性、面粗度の大きさなども特徴として挙げられます。
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