テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社は、半導体業界向けに開発した「デルタベータHNRV」を提供しています。この製品は、真空のゴムOリングの置換と性能向上を実現するために、元々設計締付圧力が低いデルタシールと内部ばねの特殊加工を組み合わせています。ガス透過や放出を解消したいという要望に応えるため、既設のボルトのサイズや数の変更を必要とせず、ゴムOリングとの交換が可能です。主に超高真空用として使用される本製品は、断面の接触側に2つのデルタ形突起を備えており、既設のフランジに対して使用できることを保証しています。
テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社は、半導体業界向けに開発した「デルタベータHNRV」を提供しています。この製品は、真空のゴムOリングの置換と性能向上を実現するために、元々設計締付圧力が低いデルタシールと内部ばねの特殊加工を組み合わせています。ガス透過や放出を解消したいという要望に応えるため、既設のボルトのサイズや数の変更を必要とせず、ゴムOリングとの交換が可能です。主に超高真空用として使用される本製品は、断面の接触側に2つのデルタ形突起を備えており、既設のフランジに対して使用できることを保証しています。
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