フェアチャイルド社製の「真空制御用レギュレータ」は、感度特性がバツグンで、広い範囲の真空制御を実現します。再現性にも優れ、配管を外すことなく保守も可能。4種類のラインアップがあり、面積と素材の適正な組み合わせにより、125Paという超高感度を実現。分析装置制御や半導体製造装置など多用途で活躍しています。使用方法は2種類で、真空容器の外部またはバイパス系に取り付けます。
フェアチャイルド社製の「真空制御用レギュレータ」は、感度特性がバツグンで、広い範囲の真空制御を実現します。再現性にも優れ、配管を外すことなく保守も可能。4種類のラインアップがあり、面積と素材の適正な組み合わせにより、125Paという超高感度を実現。分析装置制御や半導体製造装置など多用途で活躍しています。使用方法は2種類で、真空容器の外部またはバイパス系に取り付けます。
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