電子部品・モジュール、半導体・IC、ウエハーにおけるイオン注入の受託サービス。多数の装置を所有しており、約60種の多様なイオン種に対応することができます。小片から300mmまでの幅広いサイズや、半導体から有機物などへの注入も可能。また、高温注入やシュミュレーション、イオン注入前後工程の相談、受託分析も対応しています。
電子部品・モジュール、半導体・IC、ウエハーにおけるイオン注入の受託サービス。多数の装置を所有しており、約60種の多様なイオン種に対応することができます。小片から300mmまでの幅広いサイズや、半導体から有機物などへの注入も可能。また、高温注入やシュミュレーション、イオン注入前後工程の相談、受託分析も対応しています。
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