Transpector CPMは、コンパクトで多機能な差動排気型の質量ガス分析計です。低真空領域での連続モニタリングが可能であり、業界最高クラスの測定速度と感度を提供します。CVDやエッチング装置のプロセスモニタリングやサンプリングに使用され、仕様により大気圧での測定も可能。幅広い圧力範囲で使用でき、高速データ収集により先進のアプリケーションの課題解決に適しています。また、腐食性ガスの使用にも対応し、自動校正やインターロック機能も搭載されているのが特徴。