製品概要
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日本ファインセラミックス株式会社
製品概要JFC独自の金属セラミックス複合材料MMCによる改善事例を紹介します。アルミの軽さと鉄の剛性を併せ持ち、高熱伝導性や低熱膨張性を特長とする複合材料MMCは、ウェハチャックに適した材料です。軽量・高剛性による装置性能向上やエネルギー効率向上、高熱伝導・低熱膨張による熱問題解決、鋳造製法で部品一体化による組立工数削減など、多くの効果をもたらします。
日本ファインセラミックス株式会社
JFC独自の金属セラミックス複合材料MMCによる改善事例を紹介します。アルミの軽さと鉄の剛性を併せ持ち、高熱伝導性や低熱膨張性を特長とする複合材料MMCは、ウェハチャックに適した材料です。軽量・高剛性による装置性能向上やエネルギー効率向上、高熱伝導・低熱膨張による熱問題解決、鋳造製法で部品一体化による組立工数削減など、多くの効果をもたらします。
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