製品概要
製品の特徴
仕様表
企業情報
株式会社サクラクレパス
製品概要「PLAZMARKR® ウエハ型」は、ウェハと同じ形状、同じ材料の基材を用いることにより、従来のハンドリングを変更することなく簡単に設置できます。また、放出ガスの低減や清浄性の向上に努め、コンタミを嫌う工程でもお使いいただけます。
ラインナップは、耐熱性に優れた無機色材の「セラミックタイプ」と、清浄性を追求した有機色材の「メタルフリータイプ」の2種類です。
株式会社サクラクレパス
「PLAZMARKR® ウエハ型」は、ウェハと同じ形状、同じ材料の基材を用いることにより、従来のハンドリングを変更することなく簡単に設置できます。また、放出ガスの低減や清浄性の向上に努め、コンタミを嫌う工程でもお使いいただけます。
ラインナップは、耐熱性に優れた無機色材の「セラミックタイプ」と、清浄性を追求した有機色材の「メタルフリータイプ」の2種類です。
プラズマ処理がウエハ全体に均一に行われたかどうか、色の分布で確認できます。高額な装置を使わないため、コスト削減に大きく貢献。また、ウエハの上に色材をコーティングしているので、自動搬送でそのまま装置に設置することが可能です。
さらに、厳密な確認を要する場合は専用の色差計を提供。セラミックタイプは4インチから8インチまで、メタルフリータイプは3インチから12インチまでラインナップしています。
プラズマ処理がウエハ全体に均一に行われたかどうか、色の分布で確認できます。高額な装置を使わないため、コスト削減に大きく貢献。また、ウエハの上に色材をコーティングしているので、自動搬送でそのまま装置に設置することが可能です。
さらに、厳密な確認を要する場合は専用の色差計を提供。セラミックタイプは4インチから8インチまで、メタルフリータイプは3インチから12インチまでラインナップしています。
無機色材を用いて、ウエハ上に変色層を構成。 PLAZMARK製品群の中で最も高い耐熱性を誇ります。
LEDやMEMSなど金属成分を持ち込むことのできる装置であれば、高い汎用性があります。
無機色材を用いて、ウエハ上に変色層を構成。 PLAZMARK製品群の中で最も高い耐熱性を誇ります。
LEDやMEMSなど金属成分を持ち込むことのできる装置であれば、高い汎用性があります。
SEMI規格のシリコンウエハの上に有機色材のみをコーティングし、金属不純物も極限まで排除しています。
高い清浄性の求められるプロセスにもお使いいただけます。
また、耐熱温度は250℃まで対応しています。
SEMI規格のシリコンウエハの上に有機色材のみをコーティングし、金属不純物も極限まで排除しています。
高い清浄性の求められるプロセスにもお使いいただけます。
また、耐熱温度は250℃まで対応しています。
| ウエハ型セラミックタイプ | ウエハ型 メタルフリータイプ | |||||||||
| 形状 | ウエハ（オリフラ） | ウエハ（Vノッチ） | ウエハ（オリフラ） | ウエハ（Vノッチ） | ||||||
| 耐熱性 | 400℃ | 250℃ | ||||||||
| 構成 | 基板：シリコン 検知部：無機色材 |
基板：サファイア 検知部：無機色材 |
基板：シリコン 検知部：無機色材 |
基板：シリコン 検知部：無機色材 |
||||||
| 入数 | 1枚 | 1枚 | ||||||||
大阪府東大阪市加納7-18-47
