製品概要
製品の特徴
仕様表
企業情報
株式会社サクラクレパス
製品概要「プラズマインジケータPLAZMARK® 耐熱ラベル」は、色の変化でプラズマ処理効果を見える化できる画期的なインジケータです。色材に無機材料、基材にポリイミドを採用することにより、ラベル型でありながら高い耐熱性（200℃）を実現。高温プロセスでもお使いいただけます。
また、フレキシブル性、接着性があるため、基板表面だけでなく装置内にも自由に設置し、評価を行うことが可能。Ar、O2、H2、CF4、SF6、Cl2など各種ガスで反応します。
株式会社サクラクレパス
「プラズマインジケータPLAZMARK® 耐熱ラベル」は、色の変化でプラズマ処理効果を見える化できる画期的なインジケータです。色材に無機材料、基材にポリイミドを採用することにより、ラベル型でありながら高い耐熱性（200℃）を実現。高温プロセスでもお使いいただけます。
また、フレキシブル性、接着性があるため、基板表面だけでなく装置内にも自由に設置し、評価を行うことが可能。Ar、O2、H2、CF4、SF6、Cl2など各種ガスで反応します。
無機色材とポリイミド基材を使用したことにより、200℃までは熱による変色が発生しません。
加熱やプラズマなどの入熱によって温度上昇するプロセスにおいて使い勝手のよい設計です。
無機色材とポリイミド基材を使用したことにより、200℃までは熱による変色が発生しません。
加熱やプラズマなどの入熱によって温度上昇するプロセスにおいて使い勝手のよい設計です。
プラズマプロセスガスの種類によって、変色のパターンが異なるため、意図しないガスの使用を防ぐことができます。また、この仕組みはガスのリークを検出するのにも役立ちます。
プラズマプロセスガスの種類によって、変色のパターンが異なるため、意図しないガスの使用を防ぐことができます。また、この仕組みはガスのリークを検出するのにも役立ちます。
| No.101（高感度） | No.102（低感度） | |
| 形状 | ラベル | ラベル |
| 耐熱性 | 200℃ | 200℃ |
| 構成 | 本体：ポリイミド 検知部：無機色材、レジン |
本体：ポリイミド 検知部：無機色材、レジン |
| 入数 | 10枚 | 10枚 |
| 略号 | PLL0203-101 | PLL0203-102 |
大阪府東大阪市加納7-18-47
