「FKS-300wLED」は従来の紫外線光源よりもエネルギー効率のよいUVA-LEDを採用しており、短い時間で同等の照射効果を得られます。さらに、LEDランプの採用によって長寿命と省電力を実現。ランプ交換頻度や電力コストを抑えることで、40%以上の生産性向上や20〜40%のコスト削減を可能にしています。

「FKS-300wLED」は卓上に設置できるサイズ感ながら12インチのウェハーでも対応可能。限られたスペースにも設置しやすく、必要に応じて容易に移動させられます。また、大きな物体のUV処理が可能な点に加えて、上下どちらでも照射できる汎用性の高さも特徴のひとつ。AC100Vで駆動するため特別な電源設備が不要であり、作業環境や設備を柔軟に選択できます。

「Fks-300wLED」のLEDランプは、人体に優しい低発熱型。従来のランプに比べて熱の発生が少なく、使用中の温度上昇が抑えられます。また、温度に連動して作動する冷却ファンが2つ装備されており、機器の過熱を防止することが可能。さらにインターロック機構により、蓋がしっかり閉まっていないと照射器が作動しない安全設計がされており、ダンパー付きの上蓋が操作中の事故を防止します。