株式会社レイマックの同軸スポット照明「IHVE-21シリーズ」に、赤外波長1100nmタイプが追加されました。これにより、シリコンを透過する特性を持つ赤外光を利用した「ウェハー裏面からのパターン観察」や「シリコンウェハー内部のボイド検出」といった透過検査に用途が広がります。多彩な照射波長の選択も可能です。
株式会社レイマックの同軸スポット照明「IHVE-21シリーズ」に、赤外波長1100nmタイプが追加されました。これにより、シリコンを透過する特性を持つ赤外光を利用した「ウェハー裏面からのパターン観察」や「シリコンウェハー内部のボイド検出」といった透過検査に用途が広がります。多彩な照射波長の選択も可能です。
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