ドラフトチャンバー （19） ファンフィルタユニット （11） フィルタユニット （4） エアシャワー （11） 靴底洗浄機 （14） パスボックス （4） グローブボックス （11） クリーンベンチ （11） クリーンブース （14） その他クリーンルーム用機器・設備 （33）