昇温した有機薬液と高圧ジェットを組み合わせた化学反応と物理的アシストにより、高い剥離性能を実現した洗浄機です。ストレートノズルと高圧ジェットノズルを併用し、研究開発や少量生産向けのレジスト剥離・メタルリフトオフ処理を可能にします。コンパクト設計で手狭なスペースにも設置でき、リンスや乾燥までをひとつのチャンバーで行うためスループットが向上し、フットプリントを削減可能です。また、使用した薬液の分離回収と再利用もできますので、ランニングコストの削減にも貢献します。さらに、有機洗浄装置としても利用可能です。