当機はEV向けバッテリーセルの製造工程において、セル単体のリークテストを実施するための設備です。ヘリウムを封入し、高感度な真空チャンバー法を用いてリークを検出します。最小検出感度は最小~10⁻⁶ mbarL/sまで。テスト圧力は0.3 MPaで、サイクルタイムは8台/40秒です。２チャンバー化、ワーク多数個取りによるサイクル短縮できます。お客様の仕様に合わせて最適な設備をインテグレーションします。