製品概要
企業情報
株式会社エナテック
製品概要CZウェーハ 成膜加工は、酸化膜系、窒化膜系、金属膜系などのさまざまな膜種に対応し、2インチから450mmウェーハへの成膜が可能です。さらに、一枚からでも対応でき、Ti、Cu、Cr、Niなどの材料にも対応しています。また、4インチから12インチまでのレジスト塗布、露光、エッチングや、テストパターン付ウェーハの一貫したサポートも行っています。
株式会社エナテック
CZウェーハ 成膜加工は、酸化膜系、窒化膜系、金属膜系などのさまざまな膜種に対応し、2インチから450mmウェーハへの成膜が可能です。さらに、一枚からでも対応でき、Ti、Cu、Cr、Niなどの材料にも対応しています。また、4インチから12インチまでのレジスト塗布、露光、エッチングや、テストパターン付ウェーハの一貫したサポートも行っています。
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