高速・高精度リニアモーターステージ V-551型は、クロスローラーベアリングを用いた高精度リニアガイドにより、高い移動精度を実現します。アンチクリープシステムによりケージクリープを確実に防止し、アイアンレス磁気直接駆動によって高速および高加速度を実現。内蔵のアブソリュートエンコーダーは明確な位置決め情報を提供し、高速位置決めが可能です。移動ステージ部分でのダイレクト計測により非直進性や機会の遊び、弾性変形の影響を防ぎ、最も高精度な計測を実現します。