日精株式会社の高田工業所製の研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置は、昇温した有機薬液と高圧ジェットの組み合わせにより、優れた剥離性能を実現しています。ストレートノズルと高圧ジェットノズルを併用し、効率的なメタルリフトオフ処理を行うことができます。コンパクトなデザインのモデルから、搬送ユニットを省いたさらに小型化とコストメリットを追求したモデルまで、幅広いラインナップがあります。また、1チャンバー完結タイプは、レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行うため、高いスループットを実現し、省スペース化にも貢献します。さらに、使用した薬液の分離回収と再利用が可能なため、ランニングコストの削減にもつながります。この装置はレジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても利用できます。