製品概要
企業情報
株式会社ティーエスシー
製品概要株式会社ティーエスシーが開発した研磨装置「超高精度両面研磨装置 Extシリーズ」は、両面加工装置の常識を打ち破るような特徴を持っています。従来の装置とは異なり、独立駆動方式とジャイロ機構を採用しており、上定盤は常に水平で昇降します。その結果、極薄加工や高精度・高品質な平行度・平坦度を実現。合成石英ガラスの研磨加工でも、PV値50nmの平坦度を達成しています。
株式会社ティーエスシー
株式会社ティーエスシーが開発した研磨装置「超高精度両面研磨装置 Extシリーズ」は、両面加工装置の常識を打ち破るような特徴を持っています。従来の装置とは異なり、独立駆動方式とジャイロ機構を採用しており、上定盤は常に水平で昇降します。その結果、極薄加工や高精度・高品質な平行度・平坦度を実現。合成石英ガラスの研磨加工でも、PV値50nmの平坦度を達成しています。
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