製品概要
企業情報
日本ドナルドソン株式会社
製品概要酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用のHEPAフィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムです。ArF液浸露光など、ハイエンド半導体露光装置向けに開発され、LPSフィルタまたはBSMmaxフィルタ12枚とHEPAフィルタ6枚を搭載しています。長寿命で省スペースながらも高い汚染物質除去機能があり、性能低下を防ぐのに最適です。
日本ドナルドソン株式会社
酸性・塩基性・凝縮性有機ガス除去用のHEPAフィルタ付高効率ケミカルフィルタシステムです。ArF液浸露光など、ハイエンド半導体露光装置向けに開発され、LPSフィルタまたはBSMmaxフィルタ12枚とHEPAフィルタ6枚を搭載しています。長寿命で省スペースながらも高い汚染物質除去機能があり、性能低下を防ぐのに最適です。
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