株式会社マツボーのプリズムカプラ SPA-3DRは、試料のX軸・Y軸・Z軸の光屈折率を回転しながら測定します。測定対象は透明フィルム、透明フィルム上の薄膜、石英、液体などがあり、FPD用フィルムやSiO2等の3次元複屈折率測定に好適。複屈折率測定は、0.05°の精度で回転し、多層薄膜での光屈折率・膜厚の個別測定も可能です。
株式会社マツボーのプリズムカプラ SPA-3DRは、試料のX軸・Y軸・Z軸の光屈折率を回転しながら測定します。測定対象は透明フィルム、透明フィルム上の薄膜、石英、液体などがあり、FPD用フィルムやSiO2等の3次元複屈折率測定に好適。複屈折率測定は、0.05°の精度で回転し、多層薄膜での光屈折率・膜厚の個別測定も可能です。
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