UL1000Fabは、半導体の厳しい要求事項を満たすために特別に設計された可動式ヘリウムリークディテクタです。ソフトウェアアルゴリズム:I-CALにより、測定範囲で安定したリークレートを実現し、小さなリークレート範囲でも迅速かつ安定した応答を示します。クリーンルームでも使用可能。真空チャンバーメンテナンスやガス配管、品質保証に最適化されています。詳細はカタログダウンロードまたはお問い合わせください。
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