『STP-iXU457』は、エドワーズ株式会社が製造するターボポンプです。ポンプの揺れを検知し、自動で磁気軸受剛性を切替える機能を備えています。超低振動性能とMB剛性性能の両立を実現し、ポンプ下にコンパクトに搭載されたコントローラ一体型です。更に、1kHzから2kHzの周波数帯域での振動を抑制し、ベース振動も低減しています。DC24Vの供給電源に対応しており、オプションでAC100-200Vも利用可能です。CEマークやUL規格、SEMI S2、欧州RoHS指令にも対応しています。
『STP-iXU457』は、エドワーズ株式会社が製造するターボポンプです。ポンプの揺れを検知し、自動で磁気軸受剛性を切替える機能を備えています。超低振動性能とMB剛性性能の両立を実現し、ポンプ下にコンパクトに搭載されたコントローラ一体型です。更に、1kHzから2kHzの周波数帯域での振動を抑制し、ベース振動も低減しています。DC24Vの供給電源に対応しており、オプションでAC100-200Vも利用可能です。CEマークやUL規格、SEMI S2、欧州RoHS指令にも対応しています。
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