半導体・液晶製造に適した製品であるファンフィルターユニット『EC-MAC』は、PTFEフィルターを標準搭載し、高清浄度空間を創出。AC100V～240V（単相）対応で電源確保が容易であり、高効率DCブラシレスモーターの採用により省電力化を実現しました。さらに、EMC対応、SEMI規格およびUL規格準拠品となっており、海外仕様にも対応可能。信号出力対応なので運転信号や異常信号の出力もできます。