製品概要
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エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
製品概要GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用の特別設計。ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターで、PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。様々な接続タイプが用意されており、容易な取り付けが可能です。
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用の特別設計。ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターで、PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。様々な接続タイプが用意されており、容易な取り付けが可能です。
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