液面レベルセンサー「CLA」を使用して、半導体装置関連の薬液タンク(希硫酸)の液面検知を行いました。従来の方法ではセンサの位置変更が必要で、液面の管理も困難でした。しかし、「CLA」は非接触で検出できる電極がPETフィルムのため、様々なタンクに取り付けが可能です。さらに、アナログ出力によりリニアな液面管理が可能です。液面管理の課題を解決し、効率的な液面検知を実現しました。
液面レベルセンサー「CLA」を使用して、半導体装置関連の薬液タンク(希硫酸)の液面検知を行いました。従来の方法ではセンサの位置変更が必要で、液面の管理も困難でした。しかし、「CLA」は非接触で検出できる電極がPETフィルムのため、様々なタンクに取り付けが可能です。さらに、アナログ出力によりリニアな液面管理が可能です。液面管理の課題を解決し、効率的な液面検知を実現しました。
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