製品概要
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エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
製品概要GasProオールフッ素樹脂ガスフィルターTEM-900シリーズは、半導体ガスフィルター用に特別に設計されています。0.003ミクロンのろ過精度を実現するため、全溶接構造と電解研磨されたSUS316Lの溶接ハウジングを採用。清浄度を確保するために窒素でパージされ、様々な接続タイプで容易に取り付けることができます。
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルターTEM-900シリーズは、半導体ガスフィルター用に特別に設計されています。0.003ミクロンのろ過精度を実現するため、全溶接構造と電解研磨されたSUS316Lの溶接ハウジングを採用。清浄度を確保するために窒素でパージされ、様々な接続タイプで容易に取り付けることができます。
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