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エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
TEM-400シリーズ
高性能な半導体プロセスガスフィルター
TEM-400シリーズ
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半導体プロセスガスとCDA用に設計された高性能なインラインガスフィルターです。ろ過精度は0.003ミクロンで、溶接ハウジングとPTFEメンブレンを使用して清浄度を確保しています。さまざまな接続タイプがありますが、取り付けは簡単。

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高性能な半導体プロセスガスフィルター
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半導体プロセスガスとCDA用に設計された高性能なインラインガスフィルターです。ろ過精度は0.003ミクロンで、溶接ハウジングとPTFEメンブレンを使用して清浄度を確保しています。さまざまな接続タイプがありますが、取り付けは簡単。

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