製品概要
企業情報
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
製品概要半導体ガスフィルター用の高性能インラインガスフィルターです。ろ過精度は0.003ミクロンで、溶接構造となっているため、大流量でも高い精度を実現します。メディア材質にはPTFEを使用し、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが採用されています。窒素でパージされた状態で出荷され、様々な接続タイプが用意されているため、取り付けも容易です。
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
半導体ガスフィルター用の高性能インラインガスフィルターです。ろ過精度は0.003ミクロンで、溶接構造となっているため、大流量でも高い精度を実現します。メディア材質にはPTFEを使用し、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが採用されています。窒素でパージされた状態で出荷され、様々な接続タイプが用意されているため、取り付けも容易です。
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