位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーター。ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、剛性が10倍以上で振動が少なく、なめらかです。XY方向繰り返し精度も従来品と比較して3倍以上。ステッパーや光学機器の移動や微少角度調整、位置調整などに最適です。省スペースで一体構造なので装置設計の時間短縮にも貢献します。
位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーター。ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、剛性が10倍以上で振動が少なく、なめらかです。XY方向繰り返し精度も従来品と比較して3倍以上。ステッパーや光学機器の移動や微少角度調整、位置調整などに最適です。省スペースで一体構造なので装置設計の時間短縮にも貢献します。
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