大阪真空機器製作所が提供する新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ『TG397M~1307M』は、磁気浮上モータの改良により低消費電力を実現しています。さらに、ポンプ本体に稼働データやタッチダウン回数を記憶するメモリー機能を搭載しており、オーバーホール時にもデータの引継ぎが可能です。
大阪真空機器製作所が提供する新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ『TG397M~1307M』は、磁気浮上モータの改良により低消費電力を実現しています。さらに、ポンプ本体に稼働データやタッチダウン回数を記憶するメモリー機能を搭載しており、オーバーホール時にもデータの引継ぎが可能です。
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