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エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
GasPro PTFE ガスフィルター TEM-500シリーズ
高性能な半導体プロセスガスフィルター
GasPro PTFE ガスフィルター TEM-500シリーズ
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GasPro PTFEガスフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに対応する高性能なインラインガスフィルターです。ろ過精度は0.003ミクロンであり、溶接構造により大流量のガスにも対応可能。PTFEメンブレンとポリプロピレンのカートリッジと、電解研磨された溶接ハウジングで構成されており、清浄度を確保しています。柔軟な接続タイプも提供しており、容易に取り付けることが可能です。

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GasPro PTFE ガスフィルター TEM-500シリーズ
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高性能な半導体プロセスガスフィルター
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GasPro PTFEガスフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに対応する高性能なインラインガスフィルターです。ろ過精度は0.003ミクロンであり、溶接構造により大流量のガスにも対応可能。PTFEメンブレンとポリプロピレンのカートリッジと、電解研磨された溶接ハウジングで構成されており、清浄度を確保しています。柔軟な接続タイプも提供しており、容易に取り付けることが可能です。

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